方阻測試儀

產(chǎn)品簡介

Filmetrics R50 是KLA電阻測試家族的最新產(chǎn)品。R50方阻測試儀是KLA超45年電阻測量技術(shù)地位之作。電阻測量和監(jiān)控對于任何使用導(dǎo)電薄膜的行業(yè)都至關(guān)重要，從半導(dǎo)體制造到可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品。R50在金屬膜均勻性分布、離子摻雜和注入表征、薄膜厚度和電阻率分布、以及非接觸膜厚等量測均進行了優(yōu)化加強。

產(chǎn)品型號：R-50

更新時間：2024-06-17

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：3600

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產(chǎn)品分類

電導(dǎo)率儀

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品牌	其他品牌	價格區(qū)間	面議
檢測參數(shù)	多參數(shù)	儀器種類	臺式
應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣,綜合

KLA薄膜電阻測量技術(shù)方阻測試儀包括接觸（4PP）和非接觸（EC）方法。

Filmetrics的R50系列方塊電阻測量儀器可測量沉積在各種基材上的導(dǎo)電片和薄膜，跨越10個數(shù)量級范圍電阻率，包括：

半導(dǎo)體晶圓基板

玻璃基板

塑料（柔性）基材

PCB圖案特征

太陽能電池

平板顯示層和圖案化特征

金屬箔

二、方阻測試儀主要功能

l 技術(shù)規(guī)格

測量范圍：5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;

測量精度： +/- 1%；

重復(fù)度：小于 0.2%；

樣品圖中無*的測量點位，自定義測量Recipe，可線性、矩形、

極坐標(biāo)以及自定義等。

Model	Description
R50-4PP	四探針測試自動XY移動臺-100mm*100mm 可實現(xiàn)直接100mm晶圓方塊電阻mapping測量可放置直徑200mm晶圓樣品
R50-EC	非接觸渦流測試自動XY移動臺-100mm*100mm 可實現(xiàn)直接100mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量可放置直徑200mm晶圓樣品
R50-200-4PP	四探針測試自動XY移動臺-200mm*200mm 可實現(xiàn)直接200mm晶圓方塊電阻mapping測量
R50-200-EC	非接觸渦流測試自動XY移動臺-200mm*200mm 可實現(xiàn)直接200mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量