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三維測量輪廓儀

產(chǎn)品簡介

從產(chǎn)品研發(fā)到質(zhì)量控制，該系統(tǒng)可以用于從超光滑鏡面到粗糙面的各種樣品進行表面微觀測量分析和粗糙度質(zhì)量評價。白光干涉原理。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2024-09-06

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：1347

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三維測量輪廓儀

三維表面微觀測量及粗糙度評定廣泛應(yīng)用于精密加工、半導(dǎo)體加工、材料分析等領(lǐng)域

優(yōu)勢

√ 亞納米級縱向分辨率，適合光滑表面測量分析

√ 簡單、精確、快速、可重復(fù)

√ 豐富的測量模式支持不同2D/3D測量需求

功能

√ 表面三維粗糙度非接觸測量

√ 表面微觀三維結(jié)構(gòu)測量

√ 膜厚測量與分析

√ 顯微反射光譜測量(選)

適用對象

精密光學(xué)元件，微納加工器件，金屬機加工零件，晶圓等

測量原理

√ 白光干涉顯微測量原理：采用白光光源，將非相干光干涉和高分辨率顯微成像技術(shù)相結(jié)形成微觀三維輪廓，采用不同測量倍率物鏡，縱向測量分辨率可達到亞納米量級

√ 顯微光譜測量：選配光譜模塊可以實現(xiàn)表面微區(qū)光譜測量和膜厚測量功能

實測案例

三維測量輪廓儀

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