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產(chǎn)品中心電子束曝光系統(tǒng)
product
產(chǎn)品分類
ELS-F125是Elionix推出的世界上1st臺加速電壓達(dá)125KV的電子束曝光系統(tǒng)，其可加工線寬下限為5nm的精細(xì)圖形。(以下參數(shù)基于ELS-F125)
更新時間：2024-06-17
產(chǎn)品型號：ELS-F125/F100/HS50
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