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脈沖激光沉積/分子束外延聯(lián)用系統(tǒng)
021-64283335
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脈沖激光沉積(PLD)是一種用途非常廣泛的薄膜及納米結(jié)構(gòu)的制備方法。其已成功地應(yīng)用于各種復(fù)雜氧化物、氮化物和多元素材料等的薄膜制備。近年來,激光薄膜制備已發(fā)展到了分子束外延的水平,即激光分子束外延(Laser-MBE)。Laser-MBE使得激光薄膜生長(zhǎng)達(dá)到了*的水平,如重構(gòu)、雜質(zhì)晶相及島狀生長(zhǎng)等等。
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